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수차보정고분해능투과전자현미경
JEM-2200FS/JEM-2100F
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MA8
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전자빔리소그래픽시스템(SP01)
ELS-7000
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임계치수 측정 주사현미경(SM01)
S-9380-II
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P-5000
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탄소나노튜브합성장치
PECVD Nano Lab-10
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