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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
열진공증착기
Thermal evaporation
| GBTP No. | GBREMS-24-0062 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2016-11-212650 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 금오공과대학교 |
| 연락처 | 054-478-7290 |
| 대표번호 | 054-478-6716 |
장비정보
| 모델명 | DK110928-1 | 제작사 | 대기하이텍 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2016-08-02 | 취득금액 | 45,370,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 대학로 61 (양호동) 공동실험실습관 금오공과대학교 그린에너지관 F2층 213
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| 장비설명 |
열진공증착기는 10-5 torr의 진공상태에서 다양한 금속(Au, Ag 등)을 녹는점까지 올린 후 기화된 금속입자를 원하는 기판 위에 증착하는 장치이다.
막두께 제어기로 정밀한 두께도 제어 가능. |
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| 구성 및 기능 |
1. 작동챔버크기 : Φ280×500mm
2. 진공도 : 10-6 torr 3. 가열온도범위 : 25~400℃ 4. 기판 홀더 : 챔버 상단 위치, 회전 & 히팅 가능 5. 증착 물질 : Au, Ag, Al 등 |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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