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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
원자간력현미경
Atomic Force Microscope
| GBTP No. | GBREMS-20-0182 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2022-11-282868 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 연락처 | 054-279-5395 |
장비정보
| 모델명 | NX10-AFM | 제작사 | ㈜파크시스템스 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2022-10-31 | 취득금액 | 114,994,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 포항공과대학교 제3공학관 F3층
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| 장비설명 |
- 측정속도, 측정방향, 시료두께에 상관없이 어떠한 측정환경에서도 이미지 왜곡 없음
- 측정 Resolution: 0.01nm 이하 - Out-of-plane curvature: 1nm미만 (수직방향/소프트웨어 보정 없이, 40㎛ (snanner full size의 80%) 측정 시) |
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| 구성 및 기능 | 1. 1) 콘트롤 시스템 - CPU & 메인 메모리 : Intel Core i5 3.x GHz, 8 GB RAM - 저장장치: 2 x 1 TB hard disk - 그래픽: Dual DVI, 1920x1080 pixel - 운영체계: 윈도우 10 Professional - X/Y/Z 콘트롤 회로: 3축 모두Closed-loop Feedback 위치제어 - DSP 제어: 600 MHz DSP Control ( 4,800 MFLOPS ) - Electrical Controller: 20 bit DAC for x,y,z scanner positioning, 24 bit ADC for x,y,z position sensor, Digital Q control. - 듀얼 23 인치 LCD 모니터 - 7개의 입력단과 3개의 출력단이 하나의 보드에 장착 - 외부 신호와의 동조를 위한 End-of-pixel, end-of-line, end-of-frame, cantilever modulation과 bias modulation 등 5개의 TTL 신호 출력단이 있음 - 컴퓨터 / 콘트롤러 통신: TCP/IP 또는 USB 2) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 - 최대 샘플 사이즈: 100mm x 100mm ( 두께 : 최대 20mm ) - 최대 샘플 중량: 500 g - 샘플 이동거리(XY): 최대 20mm x 20mm ( 고정밀 모터 스테이지 ) - 최대 50㎛ 수평(XY) 스캐너: Closed-loop Feedback 제어 * 수평(XY) 측정영역: 최대 100㎛ x 100㎛ - 분리형 수직(Z) 스캐너 * 수직(Z) 측정 영역: 최대 30㎛ - 분리형 수직(Z) 스테이지 이동: 25mm - Z Resonant Frequency: 9KHz - XY & Z scanner: 5개의 Servo Piezo 장착 - 캔틸레버 변형의 검출 방식: SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용 * 파장: 830 nm ( Coherent Length : 50㎛ 미만 ) - 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz - SPM 측정 기능 : Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs. Distance curve, FMM, Nanoindentation, MFM, EFM, DC-EFM, KPFM, Sideband KPFM, PFM, DFRT-PFM Conductive AFM, STM 그리고 Temperature Control Stage. - 비디오 광학 현미경: 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 ) * 배율 : 780 배 이상 ( 19" LCD 모니터 상 ) * 해상도 : 1M pixel ( 10X objective lens ) * 디지털 인터페이스 : IEEE 1394 * 관찰 영역 : 480 mm x 360 mm 3) 시스템 성능 - X/Y/Z 스캔 제어: 하드웨어 Closed-loop Feedback 제어 - Tip / 시료 접근: 5 Phase 스텝 모터 구동 * Backlash-free harmonic gear reduction - 레이저 빔 정렬: 광학경로에 방해물 없어서 캔틸레버에 손쉽게 정렬 - 캔틸레버 교환: 칩 마운트를 이용하여 손쉽게 교환가능 - 다양한 제조사의 캔틸레버 사용 가능 - 도브테일 헤드 마운트: 레일을 따라 이동함으로써 탈착 용이 - Step-and-Scan 기능 * 사용자 지정 좌표들에서의 시료 표면 형상 자동 측정 기능. * Auto approach * Adaptive scan: dynamic scan rate 적용 | ||
| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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