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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
정밀 이온밀링 시스템
Precision Ion Polishing System
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2022-05-279148 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-5839 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | PIPS II Pro 695 | 제작사 | Gatan |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2022-01-21 | 취득금액 | 93,940,000원 |
| 표준분류 | 화합물전처리/분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 분쇄/파쇄기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 제1공학관 F1층 111호
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| 장비설명 | 50~80pm 분해능 수준의 수차보정 주사투과전자현미경 (Scanning Transmission Electron Microscopy : STEM)을 이용해 소재 내부에서 발생하는 재료의 구조 전이 및 결함 생성의 메커니즘을 수 pm 수준으로 분석하기 위해서는 50nm 이하의 두께를 갖는 TEM 분석용 시료 준비가 필수적이다. 이온 밀링기를 이용해 샘플을 제작하는 경우 beam damage에 beam damage를 최소화할 수 있으며 high quality 샘플 제작이 가능하다. | ||
| 구성 및 기능 |
1) Ion guns : two penning ion guns with low energy focusing electrodes
2) Milling angle (°) : +10 to -10, each gun independently adjustable 3) Ion beam energy (kV) : 0.1~8.0 4) Beam alignment : Precision beam alignment using a fluorescent screen 5) Rotation (rpm) : 1~6 6) Beam modulation : Single or double with adjustable range 7) X, Y translation (mm) : ±0.5 8) Viewing : Option 1 – Binocular microscope / Option 2 – Digital zoom microscope 9) Dry pumping system : Two-stage diaphragm pump backing, an turbo drag pump 10) Pressure (torr) : Base - 5*10^(-6) / Operating - 8×10^(-5) 11) Vacuum gauge : Cold cathode type for the main chamber, solid-state for backing pump 12) touchscreen : Simple operation with complete control of all parameters and recipe operation |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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