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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
전기신호변환 X-ray 신호평가장비
X-ray Electronic Signal Analyzer System
| GBTP No. | GBREMS-12-0052 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2017-05-237678 |
| I-tube등록번호 | 1607-D-0456 |
| 보유기관 | 구미전자정보기술원 |
| 연락처 | 054-460-9128 |
장비정보
| 모델명 | ICVMS100 | 제작사 | 에스앤엠 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2016-07-27 | 취득금액 | 183,904,070원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 구미대로 350-27 (신평동) 188 구미전자정보기술원 IT의료융합기술센터 B1층 크린룸
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| 장비설명 |
-진공(10⁻⁶torr) 에서, 저온(80K) 및 고온(480K) 상태에서 소자의 전기적 특성을 측정하고 분석할 수 있는 시스템
-다양한 GAS 환경(N2, Ar, O2, NH3, CO2, He) 상태에서 측정 및 분석 |
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| 구성 및 기능 |
1) 전체 크기 : 1,000mm(폭) × 1,000mm(길이) × 1,300mm(높이) 이하
2) 챔버 크기 : 270mm(폭) × 270mm(길이) × 300mm(높이) 이하 3) 진공 챔버 누설 전류 정밀도 : 1fA 이하 보증 4) 챔버 진공도 : 10⁻⁶torr 정밀 진공 게이지 5) 온도 작동 범위 : 80K ~ 480K (보증) - 온도 chuck(sample stage) : 80mm, 고온 및 저온, 평탄도 ±1% 이하_세라믹 인슐레이터, 2 쉴드잭 - 온도 상승 측정 : 1 step, 2 device 설정 프로그램 (온도 스윕 10단계, 10분내 측정시간 도달) - 온도센서_RTD 센서 및 컨트롤러 6) 챔버 진공 포트 : 최대 9 포트 - GAS 1포트, 벤트 1포트, 펌핑 1포트, 압력 1포트, TC파워 1포트, 스페어 4포트 - 포지셔너 4포트 (NW80 Wellded 주름관_140mm) 7) MFC 포트 : 원 샷 퍼징시스템 (N₂, O₂port), GAS Line 1/8인치 8) 챔버 윈도우 뷰 : 110mm (Quarts 6t, 다크 윈도우 커버 포함) - 윈도우 오픈 도어 락, 세이프티 키 9) 하판 플레이트 : 900mm(폭) × 900mm(길이) steel 엠보싱 코팅 10) 현미경 지지대, Z 축 컨트롤, 봉 타입, 스윙 지그 11) 옵티컬 파이버 일루미네이션 및 컨트롤, 밴딩 스테이지 확장 가능 |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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