장비검색/예약
- 홈
- 장비활용
- 장비검색/예약
정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
전계방사형 투과전자현미경
FE-TEM
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2001-04-025694 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-2135 |
장비정보
| 모델명 | JSM2020 | 제작사 | Jeol |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 1998-11-01 | 취득금액 | 915,000,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산31번지 포항공과대학교
 |
||
| 장비설명 |
소개
투과전자현미경(Transmission Electron Microscope)TEM(Tecnai F20)은 FEG Type으로 수렴도가 우수한 전자빔을 얻을 수 있어 고속으로 가속된 전자를 광원으로 사용하며 수 pm 정도의 매우 짧은 파장의 전자선이 투과 할 수 있도록 수 micrometer정도의 두께로 얇게 만든 재료(metal, ceramic, semiconductor등의 bulk, thin film, powder 형태의 시편)에 투과시킨 후 자계렌즈를 이용하여 수 백만 배 이상으로 확대하여 계면(Interface) 전위(Dislocation), 적층 결함(Stackingfaults), 석출물, 쌍정, 두께, 결정립미세형상, 등의 각종 결정 결함의 크기와 형태를 수 A 단위로 직접 눈으로 관찰할 수 있으며, 회절도형(Diffraction Pattern)으로 재료의 아주 미소한 영역의 여러 성질에 미치는 전자회절상(x-ray의 회절상과 근본적으로 같음)을 얻을 수 있어 결정성, 격자상수 및 결정면 간격 측정, 대칭성 분석을 하여 결정 구조 분석을 할 수 있다 특징 Field Emission을 이용한 전자빔의 생성전자의 회절을 이용한 이미 지 및 DP 분석 균일한 에너지의 고에너지 전자빔의 생성 구성및성능 - Bright Field Image B/F(명시야상) - Dark Field Image D/F(암시야상) - Diffraction Pattern(회절도형) - Convergent beam electron diffraction CBED(수렴성 회절도형) - STEM Mode - EDS 장착 (Resolution:132 eV) 원자번호5(B) - 92(U) 까지 분석가능 - Conical Dark Field Mode 장착 - MSC Camera 장착 - Lorentz Lens 장착 ( 현재 고장) 활용분야 금속재료의 고배율 이미 지 및 결정구조 및 상분석 반도체 재료의 이미지 분석 및 결함분석 고해상도이미지로 원자의 이미지 직접 관찰 재료의 성분분석, metal, ceramic, semiconductor등의 bulk, thin film, powder 물질의 미시구조, 결정구조, 화학조성분석 |
||
| 구성 및 기능 | |||
| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
|---|