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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

터보분자펌프

COMPOUND MOLECULAR PUMP 2EA

GBTP No. -
NFEC등록번호 NFEC-2006-08-043089
I-tube등록번호 -
보유기관 한국원자력연구원
연락처 054-705-3744

장비정보

모델명 TG2400F 제작사 Osaka Vacuum
취득일자 2005-11-18 취득금액 31,521,478원
표준분류 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 펌프 활용용도 시험
장비위치
경상북도 경주시 건천읍 미래로 181 한국원자력연구원 양성자가속기연구센터 한국원자력연구원 양성자가속기연구센터 F1
장비설명 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 제작하고 있다. 특징으로는, 우선 가격면에서 같은 용량의 확산 펌프에 비해 상당히 비싸다. 10-2~5×10-10 Torr 영역에서 사용 가능하며 확산 펌프에서처럼 오일을 사용하지 않기 때문에 매우 깨끗하다. 회전축에 있는 베어링(Bearing unit)에 약간의 윤활제를 사용하고 있으나 큰 문제는 안 된다. 요즘은 자기부상의 원리(Magnetic levitation)로 마찰력을 줄여 아예 윤활유도 사용하지 않는 경우도 있다. 질량이 큰 탄화수소(Hydrocarbon)에 대한 압축비(Compression ratio)가 크기 때문에 보조 펌프(Backing pump)로부터 오일이 역류할 확률이 극히 작다. 다른 고진공 펌프에 비해 작동의 시작 및 종료의 과정이 단순하고 시간도 적게 걸린다.(10분 이내) 배기 속도가 수백 ℓ/sec로 비교적 용량이 큰데 배기 속도는 펌프의 회전속도에 비례하며 이 속도를 조절할 수 있도록 되어 있는 모델도 있다. Sputtering 증착의 경우는 보통 수 mTorr 영역에서 시행이 되는데, 앞에서 얘기했듯이 이 영역에서는 확산 펌프의 경우 역류의 가능성이 크다. 이런 경우에 터보 펌프를 저속으로 두고 사용하면 좋다. 진동이 약간 있으나 문제가 되면 Vibration isolator를 설치하면 어느 정도 줄일 수 있고 수평 또는 수직 설치가 가능하다.
구성 및 기능 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 제작하고 있다. 특징으로는, 우선 가격면에서 같은 용량의 확산 펌프에 비해 상당히 비싸다. 10-2~5×10-10 Torr 영역에서 사용 가능하며 확산 펌프에서처럼 오일을 사용하지 않기 때문에 매우 깨끗하다. 회전축에 있는 베어링(Bearing unit)에 약간의 윤활제를 사용하고 있으나 큰 문제는 안 된다. 요즘은 자기부상의 원리(Magnetic levitation)로 마찰력을 줄여 아예 윤활유도 사용하지 않는 경우도 있다. 질량이 큰 탄화수소(Hydrocarbon)에 대한 압축비(Compression ratio)가 크기 때문에 보조 펌프(Backing pump)로부터 오일이 역류할 확률이 극히 작다. 다른 고진공 펌프에 비해 작동의 시작 및 종료의 과정이 단순하고 시간도 적게 걸린다.(10분 이내) 배기 속도가 수백 ℓ/sec로 비교적 용량이 큰데 배기 속도는 펌프의 회전속도에 비례하며 이 속도를 조절할 수 있도록 되어 있는 모델도 있다. Sputtering 증착의 경우는 보통 수 mTorr 영역에서 시행이 되는데, 앞에서 얘기했듯이 이 영역에서는 확산 펌프의 경우 역류의 가능성이 크다. 이런 경우에 터보 펌프를 저속으로 두고 사용하면 좋다. 진동이 약간 있으나 문제가 되면 Vibration isolator를 설치하면 어느 정도 줄일 수 있고 수평 또는 수직 설치가 가능하다.
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사용/활용예 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 제작하고 있다. 특징으로는, 우선 가격면에서 같은 용량의 확산 펌프에 비해 상당히 비싸다. 10-2~5×10-10 Torr 영역에서 사용 가능하며 확산 펌프에서처럼 오일을 사용하지 않기 때문에 매우 깨끗하다. 회전축에 있는 베어링(Bearing unit)에 약간의 윤활제를 사용하고 있으나 큰 문제는 안 된다. 요즘은 자기부상의 원리(Magnetic levitation)로 마찰력을 줄여 아예 윤활유도 사용하지 않는 경우도 있다. 질량이 큰 탄화수소(Hydrocarbon)에 대한 압축비(Compression ratio)가 크기 때문에 보조 펌프(Backing pump)로부터 오일이 역류할 확률이 극히 작다. 다른 고진공 펌프에 비해 작동의 시작 및 종료의 과정이 단순하고 시간도 적게 걸린다.(10분 이내) 배기 속도가 수백 ℓ/sec로 비교적 용량이 큰데 배기 속도는 펌프의 회전속도에 비례하며 이 속도를 조절할 수 있도록 되어 있는 모델도 있다. Sputtering 증착의 경우는 보통 수 mTorr 영역에서 시행이 되는데, 앞에서 얘기했듯이 이 영역에서는 확산 펌프의 경우 역류의 가능성이 크다. 이런 경우에 터보 펌프를 저속으로 두고 사용하면 좋다. 진동이 약간 있으나 문제가 되면 Vibration isolator를 설치하면 어느 정도 줄일 수 있고 수평 또는 수직 설치가 가능하다.
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