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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
제진대
Vibration Isolation Platform
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2007-10-012692 |
| I-tube등록번호 | 0410-D-0049 |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-0227 |
장비정보
| 모델명 | MODSW10006.0 | 제작사 | Halcyonics Gmbh |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2004-10-13 | 취득금액 | 58,895,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 나노기술집적센터 F2 nems
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| 장비설명 |
Vibration Isolation Platform은 본 나노센터의 SEM장비의 Vibration을 잡아주는 제진시스템으로써 좀더 미세한 Lithography을 위해서는 필수적인 장비이다.
Halcyonics GmbH 社의 Active Vibration Isolation Platform은 고유진동수의 경우 하중에 영향을 받지 않고 피스톤의 유효단면적과 공기 챔버의 체적비율 부분에도 탁월한 성능을 발휘하고 있어, 소자 특성 측정 및 응용 부분에서 최고의 성능을 가지고, 그 응용도가 다양하여 경쟁사의 2개 역할을 할 수 있어 각각의 응용에 대해 활용도가 높은 장비이다. |
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| 구성 및 기능 | - Vibration Isolation System Frequency Range : 1 Hz ~ ∞ Isolation Performance : > 5Hz = 25dB, > 10Hz = 35dB Sensors : Piezo-Electric Accelerometers Sense Horizontal and Vertical Vibrations Actuators : 8 Electro-Dynamic transducers Overload In | ||
| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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