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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
SiC 단결정 잉곳 평면 연삭기
High Precision Surface Grinding Machine for SiC Single Crystal
| GBTP No. | GBREMS-05-0018 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2017-09-239803 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항산업과학연구원 |
| 연락처 | 054-279-6216 |
장비정보
| 모델명 | DGS-520A | 제작사 | 대산기계공업 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2017-08-25 | 취득금액 | 26,500,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 절삭장비 > 연삭장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 67(효자동) 제 7실험동 F1 12
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| 장비설명 | * SiC 단결정 성장 잉곳의 형상가공을 위한 평면연삭기 - 잉곳을 기판형태로 절삭하기 위한 전단계의 형상 가공을 수행 - SiC 단결정 잉곳 외, 다이아몬드 휠을 이용한 난삭재, 고경도성 소재의 평면가공이 가능 | ||
| 구성 및 기능 |
* 마그네틱 척을 이용, 가공 시편을 work table에 고정 후 다이아몬드 휠을 이용, X, Y, Z 축 이동을 통한 정밀 평면가공
- 가공 시편 크기 : 길이 최대 600mm, 폭 최대 200mm - 최소 절입 이송(Z축) : 0.0002mm - 연속 이송 범위 " 0.1~1mm (1mm 간격으로 절입량 재설정 필요) - 테이블 작업면 크기(길이X폭) : 580 X 200mm 이상 |
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| 사용/활용예 |
* 표면의 굴곡이 있는 SiC 단결정 잉곳 및 기판의 상부 표면 평면가공
- 멀티와이어 소우를 이용한 잉곳 절삭 시 볼록면에서의 와이어 이탈로 인한 단선 방지 - 기판 평면가공을 통한 두께편차 최소화 가공 * 난삭성, 고경도 시편의 가공에 활용 - 굽힘강도 테스트용 막대 형상의 시편 가공 - 압축강도 테스트용 정육면체 형상의 시편 가공 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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