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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
마스크정렬기
Mask Aligner 6(MA6)
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2007-11-047936 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-2168 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | MA6/BSA | 제작사 | Suss Microtec |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2007-02-23 | 취득금액 | 91,017,459원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 나노기술집적센터 F2 클린룸
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| 장비설명 |
특징
- 다양한 공정에 응용 가능한 범용 Mask aligner - Modular 디자인 - 정밀한 포커싱을 위한 넓은 초점 조정 범위 - Top side Alignment 및 Bottom side Alignment - Bond Aligner 로 사용이 가능함 - 최대 substrate 크기: 6“x6“ - UV 400 UV300 UV 250 UV 200(Excimer laser) - Substrate 수평 최적화 시스템 - 높은 공정 수율과 마스크 보호를 위한 정확하고 정밀한 gap setting - 셋업 시간을 줄이고 공정의 재연성을 향상시키기 위한 파라미터 및 프로그램 저장가능 |
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| 구성 및 기능 |
구성및성능
- UV lamp micro stage microscope |
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| 사용/활용예 |
사용예
- MEMS Sensor BiO Sensor 제작 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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