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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
스캐닝전자현미경
Law Vacuum Scanning Electron Microscope
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2007-11-047942 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-5892 |
장비정보
| 모델명 | JSM-6390LV | 제작사 | Jeol |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2006-07-24 | 취득금액 | 116,494,857원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 제5공학관 B1 5-1
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| 장비설명 |
특징
전자선으로 시료를 주사하여 시료 전체의 표면 형상 정보를 얻음 주사현미경은 투과현미경과 달리 시료를 투과하지 않고 시료 표면에 한 점을 초점으로 맞추어 주사한다. 표면에서 전자빔의 전자는 굴절되고 이차전자가 발생되어 표면에서 나온다. 이 이차전자들을 검파기로 수집하여 음극선관을 통해 영상을 형성한다. 전자빔이 시료를 투과하지 않고 깊이에 따라 이차전자가 발생되므로 큰 시료를 입체적으로 관찰할 수 있다. |
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| 구성 및 기능 |
구성및성능
"Vacuum system - Remove air molecules Electrical Optical System - Focus and control the e beam Specimen stage - Insertion and manipulation Secondary electron (SE) detector - Collect signal Electronics - Display image" |
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| 사용/활용예 |
활용분야
각종 시료 표면 측정하 이 이차전자들을 검파기로 수집하여 음극선관을 통해 영상을 형성한다. 전자빔이 시료를 투과하지 않고 깊이에 따라 이차전자가 발생되므로 큰 시료를 입체적으로 관찰할 수 있다. |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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