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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
시료(소자)측정기
EBSD(Electron Backscatter Diffraction) System
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2007-11-048458 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-9071 |
장비정보
| 모델명 | DigiView EBSD Camera | 제작사 | Edax |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2006-07-27 | 취득금액 | 93,908,724원 |
| 표준분류 | 화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > X-선회절분석기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 철강대학원 철강대학원 철강대학원 F1 154/6
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| 장비설명 |
특징
집합조직을 분석하는 기법 중의 하나로 벌크 재료의 국소 영역의 방위를 분석할 수 있다. EBSD 분석은 SEM 내에 패턴을 받을 수 있는 카메라를 설치하여 회절 패턴을 받아 수행하게 된다. 70도 기울어진 벌크 샘플에서 생성된 회절 패턴을 phosphor screen에서 받아 회절면을 분석하게 된다. EBSD 분석은 작은 영역의 방위를 얻는 것으로 각 결정립의 결정방위를 알 수 있으므로 궁극적으로는 집합조직을 해석할 수 있다. 또한 상마다 각각의 결정 구조가 다르므로 상분석도 가능하게 된다. |
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| 구성 및 기능 |
구성및성능
EBSD DETECTOR CAMERA OIM4.6 VERSION SOFTWARE EBSD 분석은 작은 영역의 방위를 얻는 것으로 각 결정립의 결정방위를 알 수 있으므로 궁극적으로는 집합조직을 해석할 수 있다. 또한 상마다 각각의 결정 구조가 다르므로 상분석도 가능하게 된다. |
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| 사용/활용예 |
활용분야
시료의 결정방향 확인 뿐만 아니라 2차원 및 3차원의 상분석이 가능하다. EBSD 분석은 SEM 내에 패턴을 받을 수 있는 카메라를 설치하여 회절 패턴을 받아 수행하게 된다. 70도 기울어진 벌크 샘플에서 생성된 회절 패턴을 phosphor screen에서 받아 회절면을 분석하게 된다. |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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