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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
3차원 광학 표면 측정기
3D optical surface profiler
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2007-12-048619 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-1525 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | NewView 200 | 제작사 | Zygo Corporation |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 1999-08-14 | 취득금액 | 103,932,923원 |
| 표준분류 | 물리적측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 광학 측정실 포항공과대학교 본관 광학 측정실
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| 장비설명 | 광학계를 이용한, 간섭현상을 이용해 표면의 거칠기 및 형상을 측정하는 장비 | ||
| 구성 및 기능 | Optical head, electronics, computer range (640um*480um), noise level 0.1nm | ||
| 사용/활용예 | 마이크로 패턴 측정, 시료 증착 두께 측정, 거울 거칠기 측정 등 | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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