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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
엘립소메터
Spectroscopic Ellipsometer
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2008-06-056067 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-5550 |
장비정보
| 모델명 | Elli-SE(UV)-F | 제작사 | 엘립소테크놀러지 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2008-04-23 | 취득금액 | 51,700,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 연구3동 F1 3102
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| 장비설명 |
특징
재료의 파괴없이 두께 및 n k 값 측정이 가능하다는 장점이 있고 얇은 막에 대한 감도가 좋다. 박막의 물리적 상태에 따라 n p 편광상태가 달라지는 성질을 이용한 측정방법이다. 유전체에 대한 수학적 모델을 이용하여 실험값과의 fitting을 통해 박막의 특성분석을 진행한다. |
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| 구성 및 기능 |
구성 및 성능
Light source Optical fiber Polarizer Analyzer Monochromator Detector 등의 파트로 구성되어 있다. 1. Wavelength Range : 380nm ~ 1000nm (UV Option : 220nm ~ 1000nm) 2. Measurement Spot : ≤ 1.5mm 3. Thickness range : 1� ~ 10μm(depends on film type) 4. Number of layer : Up to 0layer (depends on film type) 5. Throughput : 15 ~ 20Sec. per point (depends on film type) 6. Reproducibility : ±0.3� on 10 times measurement 7. Precision : 1� |
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| 사용/활용예 |
활용분야
박막의 굴절률(Refractvie index) 및 흡수계수(Extinction Coefficient)를 측정 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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