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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

4단자 면저항 측정기

4 Point Probe System

GBTP No. -
NFEC등록번호 NFEC-2008-06-056048
I-tube등록번호 0803-C-0238
보유기관 포항공과대학교
연락처 054-279-0232

장비정보

모델명 4PP 제작사 에이아이티
취득일자 2008-03-11 취득금액 31,200,000원
표준분류 전기/전자장비 > 측정시험장비 > 다기능임피던스측정시험장비 활용용도 시험
장비위치
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 나노기술집적센터 F2 박막룸
장비설명 4단자 면저항 측정기 (4 Point Probe System)의 특징은 다음과 같습니다.
4단자 법에 의해 도전 박막의 면저항으로 박막의 두께를 비파괴 검사로 측정 할 수 있습니다.
구성 및 기능 4단자 면저항 측정기 (4 Point Probe System)의 구성 및 성능은 다음과 같습니다.
구성: 4-Point-Probe Main Set Operating PC Set 성능: 측정범위 1mohm/sq~2Mohm/sq에 대해서 정확도 0.5% 이하
사용/활용예 4단자 면저항 측정기 (4 Point Probe System)의 활용분야는 다음과 같습니다.
4단자 면저항 측정기를 활용하여 비파괴 검사로 박막의 두께 측정 및 전기 전도도를 측정할 수 있습니다.
이용안내
유의사항

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