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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
유기 세정 장치
Organic Wet Station
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2008-06-056056 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-3424 |
장비정보
| 모델명 | Organic Wet Station | 제작사 | 에이치아이티 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2008-02-21 | 취득금액 | 38,500,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 나노기술집적센터 F3 311
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| 장비설명 |
유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 특징은 다음과 같습니다.
Chemical Supply를 통해 공급되는 Chemical을 이용해 시료 상에 남아있는 유기물질을 제거 |
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| 구성 및 기능 | 유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 구성 및 성능은 다음과 같습니다. QDR Bath 1조 Strip Bath 1조 Photo 및 E-Beam Resist의 Strip 작업 가능 시료 표면의 유기 물질 및 이물질 제거 | ||
| 사용/활용예 |
유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 활용분야는 다음과 같습니다. photo 시편 세정
시료 표면의 유기 물질 및 이물질 제거 E-Beam Resist의 Strip 작업 가능 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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