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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
회전 건조기
Spin Dryer
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2008-06-056060 |
| I-tube등록번호 | 0805-C-0181 |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-0237 |
장비정보
| 모델명 | SRD 8300S | 제작사 | Semitool |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2008-05-07 | 취득금액 | 63,690,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 건조시스템 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 나노기술집적센터
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| 장비설명 |
특징
Wet Station에서 세정과 Rinse 공정이 진행된 Wafer를 본 장비에 장착하여 다시 DI Water 로 Rinse 후 고속 회전으로 Wafer를 건조한다. Process Chamber 2ea Power Control Unit Utility Supply Unit |
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| 구성 및 기능 |
구성 및 성능은 다음과 같다.
구성: Process Chamber 2ea Power Control Unit Utility Supply Unit Wet Station 세정공정 및 Rinse 공정 |
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| 사용/활용예 |
회전 건조기의 활용분야는 다음과 같습니다.
습식식각 습식세정 후의 Wafer 건조 DI Water 로 Rinse 후 고속 회전으로 Wafer를 건조 Process Chamber 2ea Power |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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