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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
엑시머 레이져 시스템
Excimer Laser system
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2008-06-056088 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-2078 |
장비정보
| 모델명 | Excimer Laser | 제작사 | Coherent |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2007-06-18 | 취득금액 | 122,842,160원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 레이저발생장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 제3공학관 F3 306
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| 장비설명 | |||
| 구성 및 기능 | |||
| 사용/활용예 | )와 할로겐 기체(halogen gas)가 혼합된기체에 고에너지 전자빔을 조사하면 두 기체는 에너지 레벨이 여기상태로 올라가며 이 상태에서는 두 기체 가 결합하여 분자를 만든다. 이 분자가 다시 바닥상태로 내려오면서 빛이 발생한다. 사용된 기체에 따라 발생한 빛의 파장이 다른데 대체로 UV파장영역의 빛을 발생시키며 본 장비는 248nm 파장의 고출력 펄스 형태의 레이저를 발생시킨다. 엑시머 레이저는 산업,의료, 이과학 연구 응용 등의 분야에서 다양한 어플리케이션을 이용할 수 있는데 우리는 엑시머 레이저를 타겟 물질에 노출시켜 그 물질을 플라즈마 상태로 만들고 이 플라즈마를 기판에 증착시켜 박막을 만드는데 이용하고 있다. | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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