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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
이차이온질량분석기
SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2009-06-071147 |
| I-tube등록번호 | 0901-B-0121 |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-3424 |
장비정보
| 모델명 | IMS 6f | 제작사 | Cameca |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2009-01-20 | 취득금액 | 1,500,000,000원 |
| 표준분류 | 화합물전처리/분석장비 > 질량분석장비 > 메트릭스보조레이저탈착이온화질량분석기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 나노기술집적센터 F1 105-2
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| 장비설명 |
이차이온 질량분석기의 특징은 다음과 같습니다.
고체표면 및 박막의 성분을 일차이온으로 스퍼터링(sputtering)하여 발생된 시편의 이차이온을 모아 분석하는 성분을 분석하는 장치이다. |
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| 구성 및 기능 |
구성및성능
질량분석기를 통해 시편에서 튀어나온 이차이온의 원소의 정보 동소체 혹은 분자의 조성 등을 ppb 단위까지 분석 1. mass spectrum : 임의의 물질의 성분을 분석하기 위한 방법으로 이온 질량에 따른 성분들의 분포를 확인하는 방법 2. depth profile : 대표적인 분석방법으로 분석원소의 성분이 ppm ppb 단위의 미량 분석을 가능하게 하는 분석법이며 깊이 방향에 따라 성분 분포를 확인 할 수 있는 분석법 3. image scan : 표면의 분석 성분이 어떻게 분포하는지 확인하는 방법으로 cluster의 존재유무와 성분을 확인하는 방법. |
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| 사용/활용예 |
활용분야
고체표면 및 박막의 성분을 일차이온으로 스퍼터링(sputtering)하여 발생된 시편의 이차이온을 모아 분석하는 성분을 분석하여 반도체 및 나노소재의 미소 도핑 농도 분석 다층박막의 성분평가 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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