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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
메탈 증착 장착형 글로브박스
Glovebox unit with thermal evaporation system
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2009-08-071969 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-1495 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | Thermal evaporation system 장착형 glovebox (주문제작) | 제작사 | ㈜엠오텍 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2009-07-15 | 취득금액 | 88,194,109원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 화학관 F4 406호
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| 장비설명 |
[사용목적]
태양전지 또는 LED 등의 광학 소자 제조 과정에서 회전분사 및 열처리 등의 과정 및 태양전지에서 소자의 특성확인을 위한 실험을 산소와 수분이 존재하지 않는 환경에서 실험하고자 고순도의 질소환경이 제공되는 Glove box를 사용하고자 한다. 또한 광학소자에서 전극으로 사용되는 금속물질을 수 십~ 수백 nm 두께로 증착시키기 위해 thermal evaporation 장비를 사용하고자 한다. [특징] 외부 환경과 밀폐된 공간의 glove box에 비활성 기체를 충전시켜 산소와 수분의 함량을 최소화 시킨 다. 이 glove box에 장착된 thermal evaporator는 금속과 같은 무기물질을 고온, 고진공의 환경을 이용하여 박막을 형성한다. [구성및성능] 1.5 인 및 1인 용 glove box ( 수분 및 산소 함량 1ppm 이하) Thermal evaporator (보트(2ea), 고진공(Diffusion pump unit)) [활용분야] 유기, 무기 태양전지 제조 및 시험, 금속 박막 형성 |
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| 구성 및 기능 | 1.5인용의 글로브 박스와 1인용의 글로브 박스로 구성되어 있다. 각 글로브 박스는 모두 질소 환경으로 대기 및 산소와 차단되어 있어 수분 및 산소에 민감한 실험에 적합하다. 글로브 박스에 부착되어 있는 증착기는 금속을 고진공에서 녹여 특정 모양으로 패터닝하는데에 사용된다. | ||
| 사용/활용예 | 유리와 같은 특정 기판에 알루미늄이나 금과 같은 금속을 녹여 원하는 모양과 두께로 증착한다. 증착기 양쪽에 달려있는 글로브 박스를 통하여 증착된 기판을 질소 환경하에서 안정하게 보관 및 유지할 수 있다. | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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