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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
가스캐비넷
Gas cabinet
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2011-01-138288 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 한동대학교 산학협력단 |
| 연락처 | 054-260-1273 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | Safegas 70 | 제작사 | 주식회사 케이씨텍 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2010-03-20 | 취득금액 | 34,900,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 가스공급장치 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 북구 흥해읍 한동로 558 나노시드랩 한동대학교 나노시드랩 F1
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| 장비설명 |
실리콘 증착에 쓰이는 SiH4이나 도핑용으로 사용되는 PH3, B2H6와 같은 반도체 가스는 폭발성과 부식성이 상당히 높아 대기중에 소량 누출되더라도 큰 피해가 일어날 수 있으므로, 안전하게 관리 및 사용이 필요하다. 이를 위해 가스로 인한 사고를 미연에 방지하고 혹 가스가 누출되더라도 피해를 최소화 할 수 있기 위한 장비가 필요한데, 본 장비가 바로 그러한 역할을 한다.
가스 캐비넷 장비는 3 bottle을 수용할 수 있는 장비로 내부에 가스의 압력을 조절하여 챔버내로 안전하게 공급할 수 있는 레귤레이터를 비롯하여 leak detector, fire senesor, 스프링쿨러와 같은 장비가 달려있어 가스로 인한 피해를 최소화시켜준다. 이러한 이유 때문에 대부분의 반도체 장비를 다루고 있는 곳에서는 반드시 필요한 장비이다. |
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| 구성 및 기능 |
- 가스용기고정대: 3대의 가스 용기를 고정시키기 위한 장치
- 밸브셔터: 갑작스런 가스 누출 발생시 이를 감지하고 가스용기의 밸브를 닫아 추가적인 피해가 발생하지 않도록 막아주는 장치 - 불꽃감지기, 가스누출감지기, 스프링클러: 가스 누출 및 이로 인한 화재 발생을 조기 감지하기위한 장치와 이를 신속히 해결하기 위한 스프링클러로 구성 - 진공펌프: 가스 용기 및 배관에 차 있는 유독성 가스의 vent에 사용 - 각종 에어밸브: 에어로 동작하는 각종 밸브를 통해 장비를 제어 |
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| 사용/활용예 |
- 반도체, 디스플레이 및 태양전지를 제작하는 공정을 위해서는 부득이하게 가연성 및 유독성 가스를 사용해야 하는데, 이를 안전하게 보관하고 관리하여 실험실 및 실험자의 안전을 보장하기 위해 사용
- 공정에 사용되는 각종 가스를 원하는 챔버로 안전하게 공급하기 위해서 사용 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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