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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
진공로봇시스템
backbone
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2012-03-157246 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 한동대학교 산학협력단 |
| 연락처 | - |
장비정보
| 모델명 | MTR-5 | 제작사 | Brooks |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2011-08-31 | 취득금액 | 31,900,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 진공반송장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 북구 흥해읍 한동로 558 나노시드랩 한동대학교 나노시드랩 F1
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| 장비설명 |
진공로봇시스템은 이 시스템에 연결된 각기 다른 챔버에 샘플을 공급하는 장치로써, multi chamber를 구성하기
위해서 반드시 필요한 장비이다. 기본적으로 웨이퍼를 로딩할 수 있는 loadlock과 로봇 암이 존재하는 챔버, 진공을 잡기위한 터보펌프와 이를 백업해주는 드라이펌프 그리고 이들 시스템을 컨트롤하기 위한 컨트롤러로 구성되어 있다. 최대 5개의 챔버까지 연결할 수 있으며, base 진공은 50mTorr 정도이다. 이 시스템의 장점은 여러 장의 샘플을 증착하길 원할 때, 진공을 깨뜨리지 않는 상태에서 증착이 이루어질 수 있도록 샘플을 공급할 수 있기 때문에, 같은 조건에서 균일한 박막을 증착할 수 있으며, 증착 시간을 단축시켜줌으로써 생산성을 향상 시켜준다. |
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| 구성 및 기능 |
- 진공챔버, 터보펌프, 드라이 펌프: 10-2 Torr까지 배기 가능한 드라이 펌프와 10-6 Torr까지 배기 가능한 터보펌프로 구성
- 로드락 및 로봇 암: 실리콘 웨이퍼 이송을 위한 웨이퍼 카세트와 로드락에서 백본에 연결되어있는 각 챔버에 실리콘 웨이퍼를 옮기는 역할을 하는 로봇 암으로 구성 - 압력 게이지: 저진공 일 때 압력을 체크하기 위한 convection 게이지 2대로 구성 - 각종 에어밸브 및 PCW 라인: 에어로 동작하는 각종 밸브를 통해 장비를 제어하고 PCW라인을 통해 장비 냉각 |
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| 사용/활용예 | - TFT, LCD에 많이 적용되어 사용되고 있는 비정질 실리콘 증착 및 최근 활발히 연구가 진행되고 있는 나노결정 실리콘 증착 뿐만 아니라 hard coating 재료 및 OLED encapsulation layer 로 사용 가능한 실리콘 질화막 증착을 위한 클러스터 시스템 구성을 위해 사용 | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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