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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
열증착시스템
Thermal Evaporator System
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2014-06-188939 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-8891 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | DDHT-TT2540 | 제작사 | 대동하이텍 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2014-03-17 | 취득금액 | 91,960,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77(지곡동) 청암로 77 포항공과대학교 C5융합동 F3 332
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| 장비설명 |
유기전자 (organic electronics)는 유기 물질을 이용한 유체공정을 통해 전자 소자 및 시스템을 만들어 내는 것을 말한다. 이는 기존 실리콘 기반 공정으로 다루기 어려운 다양한 플렉서블 반도체 디바이스 (CMOS solar cell display등)를 제작하고 연구할 수 있어 전자소자 및 부품분야의 새로운 패러다임이 될 것으로 예상되고 있다. 향후 시장도 2030년 3000억 달러 이상의 높은 성장이 전망되며 기존 실리콘 기반 전자회로 공정에서 쓰고 버리는 재료나 독성 물질의 사용량 에너지 소비등도 대폭 줄일 수 있어 환경 친화적인 특징도 있다.
유기전자소자를 제작함에 있어서 기본적으로 수 nm에서 수백 nm의 메탈 박막의 제작이 필수적이다. 열증착기를 이용하면 다양한 종류의 금속을 고순도로 짧은 시간에 증착시킬 수 있다. 본 연구에서는 새로운 형태의 플렉서블 반도체 디바이스를 제작하고 그 특성 관찰하는데에 적용되며 또한 교육용으로 창의설계 시간에 학생들의 아이디어를 구현하는데에 사용될 예정이다. 본 장비는 유기 반도체 물질 및 금속의 증착을 질소 분위기의 글러브 박스에서 이루어 질 수 있도록 하여 외부 공기 및 수분 접촉에 의한 물성 저하 및 소자 특성 열화를 방지한다는 점에서 여타 장비와 차별성을 가지고 있다. 또한 유사장비가 외부에 구비되어 있다 하더라도 유기물 반도체 소자 이동시 열화현상이 일어날 수 있으므로 별도의 도입이 필수적이다. |
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| 구성 및 기능 |
-사용용도: 유기물 반도체 소자 제작
-사용목적: 유기반도체 소자 제작 시 금속 및 유기 박막 증착 -주요사양: chamber ultimate pressur < 5*10-7 Torr Film deposition uniformity < 5% Oxygen/moisture removal < 1ppm |
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| 사용/활용예 | 유기 CMOS 반도체의 sourse drain gate 증착 유기 Solar cell의 anode/cathode 증착 유기 Display의 anode/cathode 증착 그 외 필요한 유기소자 제작시 사용 학생 아이디어 구현 등 교육용도로 사용 가능 | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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