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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
프로브 스테이션
Probe Station
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2014-06-188942 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-8891 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | MST8000CHC | 제작사 | 엠에스테크 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2013-12-10 | 취득금액 | 36,850,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77(지곡동) 청암로 77 포항공과대학교 C5융합동 F3 332
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| 장비설명 |
-반도체 소자의 PAD 크기는 수십~수백 마이크론 단위로 육안으로 식별이 어려우며 직접 손으로 전기적 연결을 수행하는 것이 불가능하다. 본 프로브 스테이션은 이러한 반도체 소자 및 회로의 측정에 있어 전기적 연결 수행에 필수적인 장비이다.
-최근 연구용 반도체 소자의 공정은 6인치 및 8인치에서 주로 이루어지고 있는 바 최대 사용 가능한 웨이퍼의 크기를 8인치로 하여 수월한 측정 분석이 가능토록 한다. 이 규격은 교내에서 제작되는 소자 뿐 아니라 외부 기업에서 수탁받는 웨이퍼의 경우에도 해당되는 규격이다. -또한 집적회로의 측정에 있어서 사용되는 탐침의 개수가 수십개에 달하므로 이를 효과적으로 연결할 수 있는 프로브 카드가 필수적으로 사용된다. 본 장비에는 프로브 카드를 이용할 수 있는 홀더를 필수적으로 장착하여 집적회로 분석에도 활용할 계획이다. -본 장비는 8인치 웨이퍼를 사용할 수 있으며 프로브 카드 홀더가 장착되어 여타 장비와 구분된다. 또한 프로브 스테이션 장비 특성상 유사 장비를 기확보한 연구실에서 자체 활용 빈도가 매우 높은 장비이다. |
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| 구성 및 기능 |
-사용 용도: 반도체 소자 및 회로 측정
-사용 목적: 소자 측정 시 미세한 PAD에 전기적 연결을 위한 프로브 팁의 정밀 제어용 -활용 분야: 반도체 소자 및 회로 측정 관련 과제 및 교육 -주요사양: 8inch Chuck Leakage: less than 50fA CCD camera Hot Chuck Dark Shield Box 6 Positioner RF Measurable Probe Card Holder 최대 샘플: 8inch 50fA 이하 누설전류 |
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| 사용/활용예 | 나노선 바이오센서 과제관련 측정 분석 제작 된 나노선 트랜지스터 소자 측정 분석 기업 수탁 웨이퍼 측정분석 제작 된 집적회로 측정 분석 반도체 및 집적회로 측정 관련 교육에 활용함 | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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