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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

주사형 탐침 현미경을 위한 무진동설비

Vibration Isolation Facility for Scanning Probe Microscopes

GBTP No. -
NFEC등록번호 NFEC-2015-01-195780
I-tube등록번호 -
보유기관 기초과학연구원
연락처 054-279-9878
대표번호 -

장비정보

모델명 모델명 없음 제작사 Amtek
취득일자 2014-12-15 취득금액 345,840,000원
표준분류 환경조성/생산/사육시설 > > 활용용도 시험
장비위치
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 기초과학연구원(캠퍼스) 무진동실 F1 001
장비설명 ○ 외부 진동 차폐
- 기초과학연구원 원자제어 전자계 연구단의 핵심 연구 장비인 극저온 고자기장 주사형 터널 현미경을 비롯하여 저온 원자힘/자기힘 현미경의 안정적인 동작을 위해서 외부에서 전달되는 진동을 근본적으로 막아 진동에 의한 터널링 전류의 변화를 억제하여 주사형 터널 분광법 뿐만 아니라, 원자 단위의 조작이 안정적으로 구현될 수 있기 위해서 반드시 있어야 하는 필수 연구 설비이다.
○ 외부 소음 차폐
- 기초과학연구원 원자제어 전자계 연구단의 핵심 연구 장비인 극저온 고자기장 주사형 터널 현미경을 비롯하여 저온 원자힘/자기힘 현미경의 안정적인 동작을 위해서 외부에서 전달되는 소음으로 인해 진동을 차단하여 보다 낮은 진동 수준을 얻기 위해 필요한 필수 연구 설비이다.
구성 및 기능 ○ 외부 진동 수준 감쇠
- 25 Hz의 외부 진동이 100 dB (100억 배) 감쇠
- 총 3단의 제진장비를 이용하여 기대치 확보
- 고유진동수를 줄이기 위해서 큰 관성질량을 가지는 1차 제진블럭 설치 예정
- 40톤 (주사형 터널 현미경), 22톤 (원자힘/자기힘 현미경)

○ 외부 소음 감쇠
- 이중 방음벽을 설치하여 추가적인 소음 차단 기대
- 소음 기준 30 dB 이하 구현 목표
- 펌프실을 별도의 공간에 두어 주 진동 및 소음 원인인 펌프를 격리
- 조정실도 무진동설비 밖에 위치하여 사용자에 의한 진동 소음 차단

○ 주사형 터널 현미경에서의 진동 수준
- 외부 진동으로 인한 탐침의 높이 변화가 1 pm (10-12 m)이하로 유지

○ 비자성 물질로 구성
- 고자기장을 발생하는 초전도 전자석의 오작동을 막기 위해서 자성물질을 사용하지 않는 무진동설비 필요

○ 핵심 연구 장비의 안정적 설치 및 운영할 수 있는 기반 설비
- 핵심 연구 장비인 극저온 고자기장 주사형 터널 현미경과 저온 원자힘/자기힘 현미경이 안전하게 설치되고 운영될 수 있도록 여러 연구 기반 설비를 지원한다.
사용/활용예 본 연구환경조성용 무진동 설비는 주사터널현미경 혹은 자기힘현미경과 같은 원자분해능을 갖는 첨단연구장비의 필수불가결한 연구설비이다. 주사터널현미경의 경우, 탐침과 시료의 거리는 일반적으로 1나노미터 수준에서 안정적으로 유지되어야 한다. 하지만 외부 진동이 있을 경우, 이 조건은 쉽게 깨쳐서 필연적으로 탐침과 시료의 파괴로 이어진다. 이 때 무진동설비는 이런 외부 진동을 최소화하여 일반적인 실험실 환경에서는 만족할 수 있는 진동 수준을 유지하게 해 준다.
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