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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
진공열증착시스템
Thermal Evaporator System
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2015-04-201525 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-8891 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | DD-GT103R | 제작사 | 대동하이텍 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2015-03-18 | 취득금액 | 85,800,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > > | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77(지곡동) 청암로 77 포항공과대학교 C5융합동 F3 329
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| 장비설명 | - 유기전자소자를 제작함에 있어서 기본적으로 수 nm에서 수백 nm의 메탈 및 유기물질의 고 품질의 박막의 형성이 필수적이다. 기 구매한 열증착기는 현재 유기 박막 형성에 주로 사용을 하고 있으며, 본 열증착기를 이용하면 다양한 종류의 금속을 고순도로 짧은 시간에 증착시킬 수 있어 다양한 전자 디바이스 및 시스템을 제작하는데에 사용될 수 있다. | ||
| 구성 및 기능 |
1. VACUUM PROCESS CHAMBER : 1 SET
2. VACUUM PUMPING UNIT : 1 SET 3. SUBSTRATE ROTATION UNIT : 1 SET 4. VACUUM GAUGE CONTROL UNIT : 1 SET 5. THERMAL SOURCE & POWER SUPPLY UNIT : 1 SET 6. THICKNESS MONITOR CONTROL UNIT : 1 SET 7. FRAME & CONTROL PANEL : 1 SET 8. GLOVE BOX UNIT 9. SYSTEM INTERGRATION UNIT : 1 SET |
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| 사용/활용예 |
- 새로운 형태의 플렉서블 반도체 디바이스를 제작하고 그 특성 관찰하는데에 적용되며 ,또한 교육용으로 창의설계 시간에 학생들의 아이디어를 구현하는데에 사용
- 유기 CMOS 반도체의 sourse, drain, gate 증착 - 유기 Solar cell의 anode/cathode 증착 - 유기 Display의 anode/cathode 증착 - 그 외 필요한 유기소자 제작시 사용 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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