정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
Scanning Electron Microscope
GBTP No. | - |
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NFEC등록번호 | NFEC-2015-09-205080 |
I-tube등록번호 | - |
보유기관 | 영남대학교 |
연락처 | 053-810-3543 |
대표번호 | - |
모델명 | S-4800 | 제작사 | Hitachi |
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취득일자 | 2008-07-07 | 취득금액 | 462,766,530원 |
표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
장비위치 | |||
장비설명 | 입사빔은 전자렌즈 시스템을 통해 시료 표면에 집속되고 이때 시료와 상호작용으로 방출되는 신호들은 각종 검출기를 통해 SE, BSE 및 STEM 이미지로 영상화 시키서 구조를 관찰하며 EDS을 이용하여 시료의 화학성분을 정성, 정량 할 수 있음 | ||
구성 및 기능 |
1. Resolution : 1.0nm at 15kV, 1.4nm at 1kV (Deaceleration mode)
2. Magnification : LM 20 ~ 2,000X, HM 100 ~ 800,000X 3. Accelerate Voltage : 0.1 ~ 30kV(0.1kV/step) 4. Detector : SE+BSE, BF, DF-STEM, EDS 5. Electrical image shift : ±12㎛(WD=8mm) 6. Electron gun : cold cathode field emission electron source 7. Contamination Prevention : Anti-contamination trap 8. Traverse : X axis 0 ~ 50mm, Y axis 1.5 ~ 25mmS |
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사용/활용예 |
1. 금속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
2. 미생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰 3. 동,식물 세포의 미세구조 관찰 |
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이용안내 | |||
유의사항 |
담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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