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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

주사전자현미경

Scanning Electron Microscope

GBTP No. -
NFEC등록번호 NFEC-2015-09-205080
I-tube등록번호 -
보유기관 영남대학교
연락처 053-810-3543
대표번호 -

장비정보

모델명 S-4800 제작사 Hitachi
취득일자 2008-07-07 취득금액 462,766,530원
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 활용용도 시험
장비위치
경상북도 경산시 대학로 280 (대동) 중앙기기센터분관 영남대학교 중앙기기센터분관 F1 104
장비설명 입사빔은 전자렌즈 시스템을 통해 시료 표면에 집속되고 이때 시료와 상호작용으로 방출되는 신호들은 각종 검출기를 통해 SE, BSE 및 STEM 이미지로 영상화 시키서 구조를 관찰하며 EDS을 이용하여 시료의 화학성분을 정성, 정량 할 수 있음
구성 및 기능 1. Resolution : 1.0nm at 15kV, 1.4nm at 1kV (Deaceleration mode)
2. Magnification : LM 20 ~ 2,000X, HM 100 ~ 800,000X
3. Accelerate Voltage : 0.1 ~ 30kV(0.1kV/step)
4. Detector : SE+BSE, BF, DF-STEM, EDS
5. Electrical image shift : ±12㎛(WD=8mm)
6. Electron gun : cold cathode field emission electron source
7. Contamination Prevention : Anti-contamination trap
8. Traverse : X axis 0 ~ 50mm, Y axis 1.5 ~ 25mmS
사용/활용예 1. 금속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
2. 미생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰
3. 동,식물 세포의 미세구조 관찰
이용안내
유의사항

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