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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

초고진공 원자간력 현미경/주사 터널링 현미경 시스템

UHV AFM/STM system

GBTP No. -
NFEC등록번호 NFEC-2015-11-206137
I-tube등록번호 -
보유기관 포항공과대학교
연락처 054-279-2088

장비정보

모델명 R9 AFM/STM 제작사 Rhk Technology
취득일자 2012-01-31 취득금액 378,503,619원
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경 활용용도 시험
장비위치
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 제3공학관 F5 508
장비설명 설치되어있는 초고진공 주사 터널링 현미경(UHV STM)시스템은 전자의 양자역학적 터널링을 이용하여 샘플의 표면의 원자 수준 이미지를 얻을 수 있는 장비입니다. 주로 substrate 위에 기른 film sample을 타겟으로 하여 샘플의 표면의 상태와 미세한 표면 구조를 알아내는데 사용합니다.
구성 및 기능 초고진공(Ultra High vacuum) 환경의 chamber내에서 저온에서 실험할 수 있으며 통상적으로 STM의 경우 0.1nm lateral resolution과 0.01nm depth resolution이 좋은 분해능으로 일반적인 전자현미경(sem)보다 매우 좋은 분해능을 가지고 있으며 일반적으로 nm단위인 원자 level에서의 측정이 가능합니다.
사용/활용예 주로 연구용과 산업용 분석, 측정 기기로 쓰이고 있습니다. 연마된 광학렌즈나 증착막의 두께 및 굴곡도 측정에서부터 천연광석의 표면분석에 이르기까지 종래보다 더 작은 원자 단위의 수준(~nm)까지 측정하려는 모든 곳에 활용되고 있습니다.
이용안내
유의사항

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