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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
웨이퍼분석 프로브 스테이션
Probe station
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2016-03-208317 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-8891 |
장비정보
| 모델명 | Summit 11000M | 제작사 | Cascade Microtech |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2016-02-15 | 취득금액 | 302,258,381원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77(지곡동) 청암로 77 포항공과대학교 C5융합동 F3 330
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| 장비설명 |
- 반도체 소자의 크기가 나노단위로 줄어듦에 따라 차세대 반도체 소자들은 잡음 특성 분 석을 통한 성능 개선이 필수적인 요소가 되었다. 잡음 특성을 정밀하게 분석하기 위해서는 외부의 잡음들을 제거하여 chamber 내의 잡음 레벨이 수 십 mVp-p 이하로 유지되어야 한다. 본 측정 프로브 시스템은 차폐설계가 잘 이루어져 chamber 내의 잡음 레벨이 낮게 유지되고 chuck 누설전류가 낮기 때문에 나노 반도체 소자 연구에 필수적인 장비이다.
- 최근 전자소자 분석에 있어 신뢰성 분석은 중요한 특성 평가요소 중 하나로써 주목받고 있다. 특히 신뢰성 분석을 위해서는 소자에 가해지는 동작점 외에도 고온의 측정환경을 조 성하는 것이 필수적인데 본 장비는 chuck의 온도를 최대 200 °C까지 안정적으로 유지할 수 있는 특징을 가지고 있다. |
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| 구성 및 기능 |
- FemtoGuard, Thermal, -60°C to 200°C, 200mm (8"), Nickel plated
- Thermal system for Summit platform, -60..200°C, Direct-cool ESPEC - Kit, Microscope, Seiwa, 2.5X, 10X, 20X - KIT, CAMERA, 1/2" CCD, COLOR NTSC FORMAT - Controller, Imagination Grabber 2 - High stability optics bridge mount, 2x2" XY, 4" pneu Z lift - Vac. Manifold kit, 2X5Port, HS Bbridge, S11/12K - Controller, system, PD930 - Vibration isolation table, DELUX package (40"x 40") V2 - Triax connection panel for Summit 11/12K HS bridge (10 triax, 4 BNC - DC Positioner, 100TPI, Left, Vacuum base - DC Positioner, 100TPI, Right, Vacuum base - DCP probe mount, dual triax adapter, for DPP2xx positioner - High performance DC probe holder - REPLACEABLE PROBE, 10um (BOX OF 10) - TRIAX CABLE, LARGE TO SMALL TRIAX CONNECTOR, 24INCH |
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| 사용/활용예 |
1. 제작된 소자 특성 및 파라미터 추출.
2. 온도 변화에 따른 물리적 파라미터 추출 및 성능 평가 3. Shielding 환경 내에서 특성 분석 및 Noise 분석을 통한 신뢰성 평가 - 본 장비는 본 연구원에서 진행되는 연구과제를 수행을 위해 제작된 차세대 소자들 (MOSFET, Photodetector, Thermoelectric device 등)에 전기적 신호를 인가하고 획득함으 로써 전기적 특성을 분석하는데 사용된다. ICT 기술에 활용 가능한 반도체 소자인 센서 및 MOS 하고 반도체 소자에 대한 연구/ 교육을 진행함에 있어 제작된 반도체 소자들 (MOSFET, Photodetector, Thermoelectric device 등) 의 전기적인 특성인 전압/전류 및 잡음, 온도 변화에 따른 특성 변화를 관찰 하기 위하여 사용된다. |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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