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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
고분해능 전계방출 주사전자현미경
High Resolution FE-SEM
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2016-04-209071 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-0216 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | JSM-7401F | 제작사 | Jeol |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2006-01-05 | 취득금액 | 348,274,126원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 나노기술집적센터 F1 105-4
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| 장비설명 | 주사전자현미경은 집속된 전자 빔(Electron Beam)을 시료 표면에 주사하면서 전자 빔과 시료와의 상호작용에 의해서 발생되는 이차전자(Secondary Electron)를 검출기로 수집하여, 시료의 각 위치에서 발생되는 이차전자의 양을 모니터 위에 각 점에 대응되는 밝기의 대소로 나타냄으로써 2차원적인 영상을 얻을 수 있는 장치를 말한다. 이차전자는 표면에서 수 nm 이하의 깊이에서 발생되기 때문에, 표면의 미세 구조를 관찰하는 것이 가능하고, 최소 30 배에서 최대 80만 배까지 확대가 가능하기 때문에, 피막의 두께나 특정 부위의 길이를 측정하는데 이용된다. | ||
| 구성 및 기능 | 1 SEM (JSM 7401F, JEOL) 1.1 Field Emission Gun 1.2 Column 1.3 Chamber 1.4 Control panel 1.5 Vacuum system 1.6 SED(Secondary Electron Detector) 1.7 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) 1.8 Ion Coater (208HR, Cressington) | ||
| 사용/활용예 |
1. Morphological characterization: 가장 기본적인 정보로 시료 표면의 요철 구조에 대한 정보를 표면 형상에 관한 이 미지로 얻어 냅니다. 시료로부터 발생한 이차전자의 이미지로 SEI(Secondary Electron Image)이미지라고 합니다. 2. Surface characterization: 시료의 이차전자 이미지라는 것에서 morphological characterization과 같으나 이 차전자가 시료의 극표면 구조 보다는 일정 깊이의 요철구조 형상을 보여 준다는 면 2
때문에 구분됩니다. 전자빔의 가속전압을 올릴수록 일차전자의 시료 투과 깊이가 깊어지기 때문에 시료 표면의 미세 구조를 관찰하기 위한 surface characterization은 통상적으로 가속전압 5keV 이하의 저가속 전압에서의 측정으 로 가능하게 됩니다. 때문에 고해상도 이미지를 얻기 위해서는 가속전압을 높일 수 밖에 없는 normal SEM에서는 수행이 어려운 기능입니다. 3. Phase distribution: 시료에 조사된 일차전자가 시료의 일정 깊이까지 투과되었다가 탄성산란하여 발생 한 후방산란전자(Back-scattered Electron Image) 이미지로 흔히 BEI 이미지라 부르는 이미지 기능입니다. 기본적으로 시료를 구성하는 원자번호 효과에 의존하 므로 원자번호의 차이가 큰 상구조를 파악하는데 이용합니다. 고분자, 생체 재료와 같은 유기재료의 경우에는 대부분 원자번호가 큰 화합물을 시료의 특정부위에 염색 시켜 관측하는 특수한 전처리 방법을 필요로 합니다. 4. Quantitative microanalysis: 전자빔에 의하여 시료 내부에서 발생하는 특성 X-선을 분석하여 시료를 구성하는 원소분석을 의미합니다. 많은 량의 X-선을 얻기 위하여 안정되고 큰 빔전류를 요 구하므로 열전자 방출건을 사용하는 normal SEM에서의 측정이 오히려 유리합니다. EDS나 WDS와 같은 X-선 분석기를 통하여 관측이 수행될 수 있으며, 점분석, 선 분석, 면분석과 같은 다양한 분석기법을 이용할 수 있습니다. |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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