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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

2차이온질량분석기

(Secondary Ion Mass Spectrometry(SIMS))

GBTP No. GBREMS-20-0088
NFEC등록번호 NFEC-2019-01-253381
I-tube등록번호 -
보유기관 포항공과대학교 산학협력단
연락처 054-279-0215

장비정보

모델명 IMS 6f 제작사 Cameca
취득일자 2008-12-18 취득금액 822,570,602원
표준분류 화합물전처리/분석장비 > 질량분석장비 > 메트릭스보조레이저탈착이온화질량분석기 활용용도 시험
장비위치
경상북도 포항시 남구 청암로 77 포항공과대학교 산학협력단 포항공과대학교 산학협력단 측정분석실
장비설명 질량분석기를 통해 시편에서 튀어나온 이차이온의 원소의 정보, 동소체 혹은 분자의 조성 등을 ppb 단위까지 분석
구성 및 기능 미량원소 정량분석
사용/활용예 반도체 및 나노소재의 미소 도핑 농도 분석, 다층박막의 성분평가
이용안내
유의사항

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