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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
전계 방사형 주사전자현미경
Field emission scanning electron microscopy
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2016-10-212597 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 한국원자력연구원 |
| 연락처 | 054-750-5305 |
장비정보
| 모델명 | JSM-7610F | 제작사 | Jeol |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2016-09-26 | 취득금액 | 370,000,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 경주시 건천읍 미래로 181 한국원자력연구원 양성자가속기연구센터 한국원자력연구원 양성자가속기연구센터 가속기동 F1층 138
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| 장비설명 |
전계방사형 주사 전자현미경(FE-SEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해, 고배율(최대배율 25배에서 100만배까지)로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어 과학 분야 전반에 걸쳐서 소재개발과 관련된 연구 및 형태학적 물성연구 그리고, 제품개발과 품질향상을 위해 필수적인 연구 장비로 활용되어 지고 있다.
FE-SEM은 전계 방출형 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료 표면의 관찰영역에 주사시키고, 이 때 시료표면에서 발생되는 여러 가지 신호들을 각기 다른 검출기로 구분하여 검출할 수 있다. 검출기를 통해 확인된 신호는 Digital화된 영상신호로 변환시키고, 액정표시장치를 통해 표현함으로써, 시료의 표면형태 및 조성에 대한 정보를 시각화시켜, 영상으로 출력해 육안으로 확인할 수 있는 장비이다. 또한, 시료의 표면정보 이외에 에너지 분산형 분광분석기(EDS)를 장착하여 시편에서 발생하는 특성 X-선 검출을 검출 할 수 있으며, 특성 X-선확인을 통해 표면정보 뿐 아니라, 시료를 구성하고 있는 원소성분에 대한 확인도 가능하다. |
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| 구성 및 기능 |
FE-SEM은 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계, 샘플을 넣는 시료실, 신호 및 정보 검출을 위한 각종 검출기(Detector), 컴퓨터 제어 system등 으로 이루어져 있다.
1. 분해능(Resolution) : Image : 1.0nm(15kV) , 1.4nm(1kV) Analysis : 3.0nm (15kV, WD 8mm, 5nA) 2. 배율(Magnification) : x25 ~ x1,000,000 3. 가속전압(Accelerating Voltage) : 0.1kV to 30kV 4. 관찰상(Image) : Secondary Electron Image / Backscattered Electron Image 5. Image Detector : SE Duo Detector with r-filter / Retractable BSE Detector 6. FE Emitter : In-lens type Schottky field-emission gun 7. 시료대 & 시료교환 방식 Fully Eucentric Stage by motor deive(5 Axes) & Exchange airlock system X: 70mm, Y: 50mm, Z: 1.0mm ~ 40mm, T: -5˚ ~ 70˚, R: 360˚ 8. EDS System : 64bit Microanalytical Processor with SEM image acquisition system Energy resolution : 127eV at Mn Ka Active area 50mm2, LN2 free type Detector |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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