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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
고속 원소분석이 가능한 전계 방출형 주사전자현미경
(High Resolution FE-SEM-Ⅱ (JSM 7800F PRIME with Dual EDS))
| GBTP No. | GBREMS-20-0079 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2019-01-253391 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 연락처 | 054-279-0225 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | JSM-7800F | 제작사 | Jeol |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2016-09-08 | 취득금액 | 276,646,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > > | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 포항공과대학교 산학협력단 포항공과대학교 산학협력단 나노융합기술원
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| 장비설명 |
Scanning Electron Microscope (SEM)는 시편에 Electron Beam 을 조사하여 발생하는 BE,SE를 디텍팅하여 이미지를 얻는 장치. 일반적으로 이미지를 얻는 Lower Detector 이외의 Upper Detector 및 GB mode 를 이용하여 고배율(x 20 k 이상)의 이미지를 얻을 수 있음. 또한 USD, BSE 등 여러 디텍터를 이용하여 다양한 이미지 분석이 가능 Dual EDS detector 를 이용하여 보다 빠르고 신뢰성 높은 정성, 정량 분석이 가능 |
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| 구성 및 기능 |
SE image resolution : 0.7nm guaranteed or better (at 15kV, GB mode) 1.2nm guaranteed or better (at 1kV, GB mode) 0.7nm guaranteed or better (at 1kV, GBSH mode) 3.0nm guaranteed or better (at 5kV, 5nA, WD10mm) Accelerating voltage : 0.01 to 30 kV (SEM mode & GB mode) or wider Sample bias voltage : 0 to 5kV Probe current : pA to 500nA or better Magnification : x25 to 1,000,000 Electron Gun : In-lens Schottky Plus field emission electron gun Objective lens : Super Hybrid Lens Dual EDS Detector System : LN2 Free SDD type , 150mm2 or larger Energy resolution : ≤127eV at 20,000cps, (Mn Ka) or better Detector : LED, UED, USD, BSED |
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| 사용/활용예 | - | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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