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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
초고진공화학기상증착기
UHV-CVD
| GBTP No. | GBREMS-20-0071 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2019-01-253406 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 연락처 | 054-279-0226 |
장비정보
| 모델명 | Eureka 2000 | 제작사 | 주성엔지니어링 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2008-02-29 | 취득금액 | 387,000,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 플라즈마기상화학증착장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 포항공과대학교 산학협력단 포항공과대학교 산학협력단 클린룸
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| 장비설명 |
·8 inch wafer · 에피 성장 (SEG, SiGe, Ge, SiC) · 기판온도 750℃까지 진행 · Uniformity 1% 이하 |
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| 구성 및 기능 | Wafer를 가열하여 반응 가스를 일정 압력으로 유지하여 Wafer 위에 원하는 박막을 기판의 결정방향과 동일한 에피층을 증착 | ||
| 사용/활용예 | Si, SiGe, Ge의 Epi 성장 B, As 등 in-situ doping | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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