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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
접촉식 표면 단차측정기
Stylus Surface Profiler
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2017-11-240779 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-8882 |
장비정보
| 모델명 | Alpha-Step D-600 | 제작사 | Kla-tencor |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2017-10-24 | 취득금액 | 62,299,600원 |
| 표준분류 | 물리적측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 포항공과대학교 나노융합기술원 R&D동 F2층
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| 장비설명 |
- 8인치 웨이퍼 시편의 고정밀도 단차측정을 위한 Stylus Surface Profiler
- 바이오센서, 열전소자, 반도체 메모리 제작 공정 시 필연적으로 수행되는 건식, 식각, 박막증착, 금속공정 진행 후 표면 상태와 표면 단차를 분석함으로써 단위공정 최적화를 이룸 - 반도체 공정특성분성을 수행하는 필수적인 장비 |
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| 구성 및 기능 |
- X-Y 스테이지: 전동 진공 스테이지
- 시편 스테이지: 4~8 inch (with pin) - 수직 해상도: 0.38Å - 카메라 해상도: 5MP - 수직 측정 번위: 1.2 mm - 측정침압: 0.03~15mg - 스테이지 이동 범위: 178×150mm - 재현성: 0.5 nm - 측정 침 종류: 2 μm rad 60 - 사용자 편의 UI 적용을 통한 2D-3D 도식화 측정결과 분석 소프트웨어 탑재 - Alpha Step D-600와 관측 컴퓨터를 위한 제진대 600×700×750 (mm) - Alpha Step D-600 약 50×60×40 (cm) - 관측 컴퓨터와 모니터 약 60×60×50 (cm) |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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