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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

초고진공 원자분해능 저온 주사터널현미경 및 원자힘현미경 복합 장치

UHV atom-resolved low temperature scanning tunneling microscop and atomic force microscope system

GBTP No. -
NFEC등록번호 NFEC-2018-03-242903
I-tube등록번호 -
보유기관 기초과학연구원
연락처 054-279-9878

장비정보

모델명 SPM 제작사 Omicron Nano Technology
취득일자 2017-05-22 취득금액 146,009,194원
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경 활용용도 시험
장비위치
경상북도 포항시 남구 청암로 77 포항공과대학교  제5공학관 B1 008
장비설명 높은 공간 분해능을 바탕으로 원자제어 저차원 전자계에서 구현할 다양한 저차원 전자계의 원자 구조 및 전자 구조를 동시에 연구할 수 있는 장비입니다. 주사터널현미경 모드에서 금속 탐침과 시료 사이의 터널링 전류를 측정하여 원자 단위의 전자 구조를 연구할 수 있음. 또한 원자힘현미경 모드에서 원자사이의 인력과 척력을 사용하여 시료의 표면의 원자 구조를 3차원적으로 측정하여 저차원 전자계의 원자 구조를 밝히는데 활용됩니다. 주사터널현미경과 원자힘현미경 모드를 동시에 동작시켜 전자 구조와 원자 구조를 동시에 측정하여 저차원 전자계의 물성을 종합적으로 연구할 수 있도록 특화된 장비임.
구성 및 기능 ○ 높은 공간 분해능 및 시료 크기
- 공간분해능(<0.01 nm)
- 2차원으로 최대 11 mm x 11 mm 크기의 시료를 장착 가능
- 시료의 위치를 쉽게 바꿀 수 있어 최대 6 mm x 6 mm 영역을 확인 가능.

○ 탐침/시료 보관 및 교체
- 최소 8개의 탐침/시료를 동시에 진공 안에 보관 가능
- 손쉬운 탐침 교체

○ 10~400K의 큰 동작 온도 범위 및 낮은 thermal drift
- continuous flow 형태의 냉동기를 이용해서 10 K까지 장비의 온도 구현
- 내장 히터와 냉동기를 조합으로 최대 400 K까지 장비의 온도를 바꿀 수 있음.
- 다양한 온도에서 측정이 가능
- 탐침과 시료 및 피에조 스캐너 등 제반 현미경이 같은 온도로 냉각. thermal drift가 최소화

○ 주사터널현미경 및 원자힘현미경 동시 동작 가능
- quartz tuning fork 형 SPM

○ 고감도 터널 전류 측정
- 1 pA 보다 작은 전류를 측정가능

○ 초고진공 유지
- 초고진공(10-10 Torr 이하)의 진공을 유지하여 시료를 오염을 방지.

○ 외부 진동 방지
- eddy current damper를 이용한 방진 장치가 내장
사용/활용예 ○ 초고진공 저온 주사터널현미경 및 원자힘현미경의 복합장치는 독립 주사터널현미경과 원자힘현미경의 각각의 장점을 극대화할 수 있어, 아주 높은 활용도를 갖는다. 특히 시료의 전기전도도에 구애받지 않아, 다양한 시료를 분석할 수 있다. 특히 기존 주사터널현미경으로는 불가능한 전연체도 원자힘현미경으로 원자구조를 얻는 동시에 전기전도도를 측정할 수 있어 높은 활용도가 있는 장비임에 틀림없다. 또한 주사터널현미경으로 동작하는 도중 원자힘의 정도를 분석하여 원자조작과 같은 작업을 보다 정밀하게 제어할 수 있어 높은 효율로 원자조작이 가능하다.
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유의사항

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