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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
전자탐침마이크로분석기
Electron Probe X-ray Micro Analyzer
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2019-12-259841 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 안동대학교 |
| 연락처 | 054-820-7347 |
장비정보
| 모델명 | JXA-8530F Plus | 제작사 | Jeol |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2019-11-27 | 취득금액 | 935,684,040원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 안동시 경동로 1375 안동대학교 공동실험실습관 F1 113
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| 장비설명 | 전자현미경과 같이 전자총으로부터 가속되어 발생된 전자빔이 시편에 도달하 여 시편에서 발생되는 여러 정보 중, 이차전자 및 반사전자를 검출하여 미소영역에 대한 상 관찰기능을 가지고 있을 뿐만 아니라, 원소분석 기능이 탁월한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS), Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS;파장 분산형 X-선 분광기)를 장착 할 수 있는데, 이는 전자총의 전자가 도달된 시료표면에서 발생하는 미약한 X-선을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석을 할 수 있다. 특성 X-선의 파장을 분산하여 원소분석을 하는 WDS는 분석정확도가 높은 반면 소요시간이 많이 걸리고, 에너지를 분산시켜서 원소분석을 하는 EDS는 WDS에 비해 분석의 정도는 떨어지나 빠른 시간 내에 다원소를 동시분석 할 수 있는 장점이 있다. 이 장비는 크게 구분하여 전자총관 전자빔을 집속시키고 조절하는 경통을 포함하여 WDS와 EDS 검출기와 대형 시료실을 갖는 Column 부분이 있고, 미세영역의 상을 표시하는 Monitor와 이러한 부품들을 조절하는 Control 부분, 그리고 얻어진 Data를 정리하고 분석하는 Computer 부분 등으로 나누어진다. | ||
| 구성 및 기능 |
1. 분해능(Resolution) : 3.0nm (WD 11mm)
2. 배율(Magnification) : x40 ~ x300,000 3. 가속전압(Accelerating Voltage) : 1KV to 30KV(0.1KV step) 4. 관찰상(Image) : SEI, BEI 5. Detective Element Range : 4Be to 92U 6. Probe Current : 1x10E-11 to 5x10E-7A |
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| 사용/활용예 |
이 장비는 금속재료 시편의 표면구조를 최대 x300,000까지 확대시켜서 관찰할 수 있고,
이 미세구조에 대한 원소분석을 필요로 하는 연구에 필수적으로 사용되기 때문에 광범위한 기초연구 및 학생 실습용으로 이용된다. |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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