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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
광전자분광기
X-ray Photoelectron Spectrometer
| GBTP No. | GBREMS-18-0029 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2019-03-254856 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 영남대학교 |
| 연락처 | 053-810-1849 |
장비정보
| 모델명 | K-Alpha | 제작사 | Thermo Fisher Scientific |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2014-05-12 | 취득금액 | 772,076,443원 |
| 표준분류 | 화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > X-선광전자분광기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 경산시 대학로 280 (대동) 214-1번지 영남대학교 중앙기기센터분관 F1층 111호
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| 장비설명 | 시료의 표면에 특성 X-선을 입사하여, 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 X-선이 사용되어 절연체에 적용이 가능함으로 도체 및 반도체 절연박막의 분석에 큰 장점을 가지고 있다. 또한 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 대한 분포도를 측정할 수 있다. | ||
| 구성 및 기능 |
1. X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)
2. X-ray source : monochromated AI Kα 3. Ultimate energy resolution & lt;= 0.50eV -FWHM Ag3d intensity curve 4. spot size : 30㎛ to 400㎛ 5. 180º spherical sector analyser multi-channel detector 6. charge compensation with new Flood gun 7. XPS depth profile 8. Ion source energy: 100V to 3keV - low energy is possible 9. Angle resolved XPS : 0 ~ 60 degree 10. XPS image 11. Ultimate spatial resolution & lt;= 30㎛ |
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| 사용/활용예 |
1. 금속 및 반도체순수 표면의 상 전이에 따른 전자 구조의 변화
2. 재배열 원자들의 전하분포 및 결합 에너지 변화 3. 기체 및 금속이 흡착된 반도체와 금속표면에서의 반응성 및 결합 상태에 따른 전자구조 4. 자성체 초 박막 및 에피 박막의 전자에너지 5. Submicro 이하의 국소 영역의 성분 분석 6. Depth profile을 통한 박막의 성장 메카니즘 규명 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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