정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
Scanning Electron Microscope
GBTP No. | - |
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NFEC등록번호 | NFEC-2020-07-264054 |
I-tube등록번호 | - |
보유기관 | 포항공과대학교 |
연락처 | 054-279-5839 |
대표번호 | - |
모델명 | S-3400N | 제작사 | Hitachi |
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취득일자 | 2015-05-08 | 취득금액 | 63,646,000원 |
표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
장비위치 | |||
장비설명 | Electron gun에서 방출된 전자빔이 시료 표면에 충돌하면서 발생하는 2차 전자(secondary electron)를 검출기로 모아 영상화하여 소재의 표면 미세구조 관찰을 하는 장비이다. | ||
구성 및 기능 |
1. 가속전압: 0.3 ~ 30 kV
2. Electron gun : Tungsten (W) filament 3. Resolution : 3.0 nm (SED, High vacuum mode at 30 kV), 4.0 nm (BSED, Low vacuum mode at 30 kV) 4. Observation area : 130 mm dia. 5. Magnification : X5 ~ X300,000 6. EDS (Resolution : 129eV(SDD), Sensor size : 30 mm2 7. Max. sample height 85 mm 8. Traverses X : 100 mm Y : 50 mm Z : 5 ~ 65 mm |
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사용/활용예 | |||
이용안내 | |||
유의사항 |
담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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