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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
마스크 얼라이너 시스템(Mask aligner system, MDA-400M)
Mask aligner system
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2020-10-265144 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-8272 |
장비정보
| 모델명 | MDA-400M | 제작사 | 마이다스시스템(주) |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2020-09-28 | 취득금액 | 54,500,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 환경공학동 B4층 403호
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| 장비설명 | Photo Lithography 공정을 수행하는 시스템으로서 감광막에 자외선(UV)을 직접 조사하여 반응 Wafer 및 기타 Substrate 위의 다양한 물질에 Pattern을 형성시키는 것을 목적으로 한다. | ||
| 구성 및 기능 |
Standard Features
- Manual & Pneumatic Control system - Sample size : piece ~ 4inwafer - Mask Holder : multi ~ 5inch x 5inch - UV Exposure Light source with 350W Power Supply - Dual CCD zoom microscope - Alignment Tooling Module with X,Y,Z and Theta motion (Micrometer) - Wedge Error Compensation ( Leveling plate type ) - Dimension : 1000 (W) x 950 (D) x 800 (H) mm - Weight : 150 Kg - Warranty : 1 year System specification A. Light source module - Lamp type : MercuryShortarclamp(350W) - Wavelength : 350nmto450nm(Standard) - 365nm Beam Intensity : > max 25 mW/cm2 - Max. beam size : 4.25 inch x 4.25 inch - Beam Uniformity : ≤±3% B. Microscope - Dual CCD zoom microscope - Manual moving stage : Dual X, Y, Z axis - Objective spacing : 60 ~ 100mm - Move range : Y Axis ± 20 mm - Magnification : 85x ~540x - Working distance : 86 mm / 32 mm C. Stage and controller module - Exposure Timer : 0.1 sec to 999.9 Hour - Stage movement : X,Y,Z and Theta X, Y : 10 mm, Theta : About ±4° Z Motion travel : 10 mm - Contact mode : Vacuum, Hard, Soft Contact Vacuum & Hard contact (Force controllable) - Alignment accuracy : <±1.0 micron - Vacuum / Pneumatic Controls : Substrate, Mask, Chuck lock & Contact D. Resolution - Vacuum Contact : 1um < Thin PR(Thickness1um) @ Full size Si Wafer> - Hard (Pressure) Contact : 2um - Soft contact : 3um - 20um Proximity : 5um E. Utilities requirement - Electric power : 220VAC / 15A / Single Phase with Ground - Nitrogen : >40 psi (3㎏/㎠ ), 6 mm Tube(PU) - CDA : >85.5 psi (Over 6 ㎏/㎠) , 6mm Tube (PU) - Vacuum : < -200 mbar ( Vacuum Pump Included ) - Exhaust : No Required F. Accessories - 2x attachment lens - prism - Anti vibration table - Intensity meter - 4파이 vacuum chuck for SPIN-1200T |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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