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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
전계방사 주사전자현미경 (FE-SEM)
Field Emission Scanning Electron Microscope
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2021-07-271556 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-5839 |
장비정보
| 모델명 | XL30 FEG | 제작사 | Philips |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2001-02-16 | 취득금액 | 254,575,045원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 제1공학관 F1층 103호
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| 장비설명 | Electron gun에서 방출된 전자빔이 시료 표면에 충돌하면서 발생하는 2차 전자(secondary electron)를 검출기로 모아 영상화하여 소재의 표면 미세구조 관찰을 하는 장비이다. | ||
| 구성 및 기능 |
1. Resolution 1.5 nm at 10kV or Higher and 2.5 nm at 1kV
2. Beam current range 1pA to 25nA 3. Magnification range (relate to image width of 12 cm) 20 ~ 800,000X 4. 4-axis motorized stage 5. EDS analysis (Saphire detector with LEAP+ Crystals) |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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