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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
주사전자현미경
Scanning Electron Microscope
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2021-08-272096 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 안동대학교 |
| 연락처 | 054-820-5817 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | SNE 4500M Plus | 제작사 | 쎄크 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2021-07-15 | 취득금액 | 59,125,977원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 안동시 경동로 1375 (송천동) 388번지 안동대학교 제2공학관 F4층
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| 장비설명 |
1. 소형화된 주사전자현미경은 설치공간과 주변 외부환경에 제약이 적으며, 일반 테이블에 올려놓고 사용할 수 있는 Tabletop 형태로 구성되어 있다.
2. 고 진공 펌프(Turbo Molecular Pump)를 기본장착 하여, 대기시간부터 진공이 완료되는 시점은 3분 이내이다. 보조펌프로는 Rotary Oil Pump 를 사용하며 오일교환이 단순하다. 3. SE(2차전자) 디텍터가 기본으로 장착되어 있으며, 고 진공 모드에서 분석이 가능하다. 4. 이 장비는 시료의 위치를 확인하기 위하여 스테이지(X,Y,R,Z,T) 이동 축을 사용하며, 5개의 이동 축에 모터를 장착해서 키보드 및 마우스 만을 이용하여 움직일 수 있다. 5. 장비를 운용하기 위한 메인보드 시스템은 일체형 통합 Board 방식이 아닌 Slot Board 형태로 구성되어 있다. 이것은 장비의 결함으로 서비스 발생 시 각 기능 하나의 Board 교체로 시간 단축과 비용부담을 최소화 할 수 있다. 6. 본 장비는 챔버 외부에 CCD 카메라가 장착되어 있다. 분석하고자 하는 샘플의 원본을 상단에서 촬영하여 Snapshot 된 이미지가 SEM 소프트웨어에 디스플레이 된다. 이미지 분석을 위해 샘플화면을 클릭하면 자동화된 모터스테이지를 통해 분석위치로 이동한다. 7. Recipe 기능은 최대 6개의 위치를 기억할 할 수 있다. 불러오기 버튼으로 저장된 위치로 자동이동 되며 동일위치를 재분석할 수 있는 기능이 포함되어 있다. 8. Chamber 측면에 EDS 장치를 장착할 수 있도록 별도의 Port 가 구성되어 있다. |
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| 구성 및 기능 |
1) 분해능(SEI) : 가속전압 30kV 에서 5nm
2) 배율 : 20x to 150,000x 3) 가속전압 : 1kV to 30kV (1kV / 5kV / 10kV / 15kV / 20kV / 30kV – 6step) |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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