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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
카본 코터
Carbon Evaporation Coater
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2021-10-273451 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-5839 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | EM ACE200 | 제작사 | Leica |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2021-08-19 | 취득금액 | 14,741,430원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 산27 포항공과대학교 제1공학관 F1 층 111호
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| 장비설명 | 전자현미경 관찰용 시편의 표면에 나노 단위의 전도성 카본 층을 생성시켜, 전자현미경 관찰시 발생하는 charging effect를 억제시키며, 전자빔으로부터 시료의 손상을 줄일 수 있으며, 2차 전자 신호를 향상 시킬 수 있다. | ||
| 구성 및 기능 |
1) 코팅 방식 : 카본 스레드 증착 코팅
2) 샘플 테이블 작동거리(높이) : 높이 조절 가능, 30mm ~ 185mm 3) 샘플 테이블 직경 : 80mm 이상, 18 포지션이상의 SEM Stubs 4) 코팅 두께를 0.1nm 단위로 모니터링하고, 1nm 단위로 두께 설정 및 제어 5) 진공 챔버 : 전면도어방식, 140mm(W), 145mm(D), 150mm(H) 6) 최소 진공도 : 7x10-3 mbar 7) 펌핑시간 : 5x10-2mbar 까지 약 2분 이내 8) 코팅 시간 설정 : 1 ~ 1800초 9) 코팅 두께 설정 : 1 ~ 1000nm 10) 직관적인 사용자 인터페이스 : 작업 경과와 장비의 작동 상태를 직관적으로 보여주는 터치 윈도우 패널, 사용자 프로그래밍이 가능한 시스템 11) 장비의 cleaning 및 유지 보수를 위해 door, shutter, shielding이 손쉽게 분리되고, 실험 상태 관찰이 용이한 전면 도어 방식 12) “START" 버튼 하나로 프로세스 후 VENT 까지 한번에 진행되는 완전 자동화 시스템 |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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