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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

Ga-ion miller 및 imaging 시스템

Ga-ion miller and imaging system

GBTP No. GBREMS-05-0276
NFEC등록번호 NFEC-2022-01-275780
I-tube등록번호 -
보유기관 포항산업과학연구원
연락처 010-3936-7645

장비정보

모델명 Helios 5 UC 제작사 Thermo Fisher Scientific
취득일자 2021-09-10 취득금액 1,145,720,320원
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경 활용용도 시험
장비위치
경상북도 포항시 남구 청암로 67 포항산업과학연구원  1연구동 F1층 1164호
장비설명 Ga 이온빔으로 시편의 미소영역을 정밀하게 연마하여, TEM 시편 제작, 시편 내부구조를 3D로 입체화하는 SEM 이미징 및 EDS 원소 분포 분석, 대기비노출 상태 가공 기능과 in-situ TEM 시편 가공 기능, Cryo 시편 준비 및 분석 기능 등을 보유한 장비로써, 이차전지 소재의 물성 향상 및 신소재 개발 지원에 활용 예정임.
구성 및 기능 - FIB optics
. 이차전자상 분해능: 4 nm @ 30 kV
. 가속전압: 0.5 ~ 30 kV
. ion source: Ga liquid metal
. vertical type ion column
- SEM optics
. 이차전자상 분해능: 0.7 nm @ 15 kV, 1.5 nm @ 1 kV
. 가속전압: 0.1 ~ 30 kV
. electron sourse: Cold type FEG
. detectors: in-lens SE, BSE
- EDS
. 100 mm^2 area detector
. 에너지 분해능:127 eV for MnKa
- 이차전지 소재 분석 및 가공용 대기비노출 챔버
. air protection loading
. air protection holder
사용/활용예 ○ RIST는 KOLAS 공인 시험 기관으로, 이차전지에 사용되는 양/음극활물질, 분리막, 파우치, 첨가제 등 다양한 소재 및 부품에 대한 시험/평가/분석 결과 성적서 발행이 가능하여 해당 시험/평가의 니즈를 가진 기업에 대해 공인 시험 성적서를 발행하는 서비스를 수행하고자 함.
○ 장비 공동 활용은 가능하며, 숙련된 시험자에 의한 충분한 교육 및 실습 후 실질적인 장비 운용이 필수적이므로, 당 원의 전문가들을 통해 관련 서비스를 지속적으로 지원할 예정임.
○ 이차전지 소재부품 산업 분야에서 필요로 하는 새로운 시험/분석/평가 서비스 개발을 위하여 지속적으로 고객 애로기술 청취 및 기술 지원 수행 예정
○ 전자현미경 시스템 고도화를 통한 新분석 기술을 통하여 얻을 수 있는 다양한 물성 데이터를 축적하여 이차전지 성능과 수명 평가 및 예측 기술 개발에 활용
이용안내
유의사항

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