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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
두께측정기
Thickness measurement
| GBTP No. | GBREMS-24-0030 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2019-09-257681 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 금오공과대학교 |
| 연락처 | 054-478-6912 |
장비정보
| 모델명 | AlphaStep D-500 | 제작사 | Kla-tencor |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2019-07-09 | 취득금액 | 44,048,380원 |
| 표준분류 | 물리적측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 대학로 61 금오공과대학교 공동실험실습관 F3 318
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| 장비설명 | 장비 내에 있는 탐침을 이용해 물리적으로 샘플 표면을 긁어 그 단차를 측정 및 분석하여 증착 등 실험한 박막 수준의 샘플두께를 디지털 식으로 표시해주는 장비. nm~um 수준의 두께 측정에 적합함. | ||
| 구성 및 기능 |
Stage specifications
Stage Type : Manual Sample Stage Diameter : 140 mm m X and Y Range of Motion : 80 and 20 mm Theta Stage : 360° Maximum Scan Length : 30 mm Scanning Speed : 10 – 400 μm/sec Sample Thickness : 20 mm Measurement specifications Step Height Repeatability : 5.0 Å or 0.1% Vertical Range : 1200 μm Vertical Resolution : 0.38 Å Stylus Force : 0.03 – 15 mg Sampling Rate : 2000 Hz Maximum Points per Scan : 120,000 Lateral Resolution : 100 nm |
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| 사용/활용예 |
-초미세 박막의 두께 측정
-마이크로필름의 두께 등 정밀한 두께 측정 -기계적 강도가 적은 소프트 물질의 두께 및 길이단차 측정 -태양전지 각 층의 두께 측정 -유기 열전 필름의 두께 측정 -포토레지스트 등의 반도체 적층 필름의 두께 측정 등에 사용된다. |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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