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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
박막두께측정장비
Film Thickness Measurement System
| GBTP No. | GBREMS-12-0349 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2007-10-003292 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 구미전자정보기술원 |
| 연락처 | 054-479-2072 |
장비정보
| 모델명 | Alpha-Step IQ | 제작사 | Kla-tencor |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2004-02-27 | 취득금액 | 59,500,000원 |
| 표준분류 | 물리적측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 산동면 첨단기업1로 17 첨단기업1로17 구미전자정보기술원 진흥관 F4 413
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| 장비설명 | |||
| 구성 및 기능 |
1. Size : 49(W) × 67(H) × 30(D) cm 2. Scan length : 10 mm 3. Scan speed : 2 μm/sec to 200 μm/sec 4. Scan method : Bi-directional moving stylus stationary stage 5. Sampling rate : 50 100 200 500 1000 Hz 6. Vertical range/resolution : - 20 μm / 0.0119 Å - 400 μm / 0.228 Å - 2 mm / 1.19 Å 7. Stylus force : 1-100 ㎎ manually adjustable 8. Variable Image magnification : 70 ~ 210 × 9. Step height repeatability : 8 Å or 0.1 % 10. Scan access : measures any point on a 160 mm diameter 11. Maximum sample stage movement : - X = 151 mm - Y = 80 mm - R = 360° 12. Maximum sample thickness : 21 mm 13. Maximum sample weight : 1 kg |
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| 사용/활용예 | 디스플레이 소재의 박막두께 측정 | ||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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