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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
전자빔증착장비
E-beam evaporating system
| GBTP No. | GBREMS-12-0257 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2008-09-067525 |
| I-tube등록번호 | 0803-C-0031 |
| 보유기관 | 구미전자정보기술원 |
| 연락처 | 053-589-0726 |
| 대표번호 | 054-479-2002 |
장비정보
| 모델명 | E-Beam Evaporation system | 제작사 | 에피코스 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2008-03-13 | 취득금액 | 217,523,560원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 산동면 첨단기업1로 17 첨단기업1로17 구미전자정보기술원 진흥관 F6 612
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| 장비설명 |
* 상세설명
전자빔 증착(e-beam evaporation)은 전자빔을 이용하여 증착하는 박막 제조 장치이다. 박막의 성막에서 일정한 위치에서 나노입자가 신뢰성 있게 결합할 수 있도록 하는 것이 중요하며 전자빔으로 유도된 증착(Electron-beam induced deposition EBID)은 이것을 가능하게 한다. |
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| 구성 및 기능 |
* 장비 성능
1. 4 Pockets 2. Thermal evaporator 2set 3. High Temp. effusion cell 4. Substrate : 100 × 100 |
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| 사용/활용예 |
* 용도
- 금속층 증착 및 코팅공정 - 소자공정중 금속막 증착공정 - 무기물 증착 및 반도체 소자 제작 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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