장비검색/예약
- 홈
- 장비활용
- 장비검색/예약
정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
필름코팅기
High resolution large chamber sputter coater
| GBTP No. | GBREMS-18-0203 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2011-01-137287 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 영남대학교 산학협력단 |
| 연락처 | - |
장비정보
| 모델명 | K675XD | 제작사 | Quorum Technologies |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2010-01-28 | 취득금액 | 46,597,798원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 경산시 대학로 280 (대동) 214-1번지 영남대학교 기계관 F1 105
 |
||
| 장비설명 |
* Three sputtering heads - ensures even coating of large specimens such as 200mm/8” wafers
* Turbo pumping system - fine grain sputtering of oxidising metals such as chromium (Cr) * Fully-automatic control - easy to set up and easy to operate |
||
| 구성 및 기능 |
* Menu-driven 'user' key inputs - easy operation by multiple users
* Peltier cooled sputter head - no cooling water required * Fine coating (order of 0.5nm chromium (Cr) grain size) - reproducible ultra high resolution coatings |
||
| 사용/활용예 |
* Rotating specimen stage - ensures even sputter deposition
* 300mm diameter chamber - easy loading and unloading of specimens such as 200mm/8” wafers |
||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
|---|