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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
세정기
Wet Station
| GBTP No. | GBREMS-18-0094 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2013-04-178387 |
| I-tube등록번호 | 1302-Z-0027 |
| 보유기관 | 영남대학교 산학협력단 |
| 연락처 | 053-810-4455 |
장비정보
| 모델명 | CSWS-6 | 제작사 | 씨앤에스엔지니어링 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2013-02-15 | 취득금액 | 28,000,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 성형공정세척기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 경산시 대학로 280 (대동) 214-1번지 영남대학교 CRC F1 대경태양전지지역혁신센터 장비실 (107_임시)
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| 장비설명 |
박도체 박막 제조용 기판의 세정 및 식각부산물의 세정을 위해 유기용제 및 산염기 용액을 공급/배출함
SC-1(RCA) Bath, Quick Dump Rinse Bath, Work Table |
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| 구성 및 기능 |
Glass & Wafer : 100*100 5매, Max.6" Size 대응
Cassette : 전용 Cassette Clean Class : Class 1000 Equipment Material : Frame - SUS 304 Main Body - Ivory PVC Plate SC-1(RCA) Bath : Material - PVDF 10t (Dip-type) Bath Cover - P.P Plate (탈부착식) Heating - Quartz 3Kw (Bath 내부 설치, 60℃±5℃) Chmical - NH4OH, H2O2 (작업자 직접 공급방식) DIW Supply - 중앙공급 (Level Sensor 에 의한 자동 Stop) Quick Dump Rinse Bath : Material - 투명 PVC 10t (Over Flow Type) Process - QDR Cycle (Shower, Bubble, Q-Drain, Supply) Heating - R.T Others : Work Table - Sink 대 & DIW Supply DIW & N2 Gun - 각각 1Set 구성 Work-Lamp - 20W 2개 (작업 공간 활성화) Bottle Cart - 20L Bottle 용 3개(이동성 및 교체 용이한 구조) Leak Sensor - Point Type 2개 System Contol : PLC Controller & Touch Panel Tower Lamp : 3Color (Red : Alarm, Green : Stand-By, Yellow : Processing) Chemical Supply & Drain : Supply -Manual 공급(작업자공급) > Bath, Drain - Bottle Drain(중력) |
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| 사용/활용예 |
결정질 태양전지의 기판 세정 뿐만 아니라 화합물 박막 태양전지 제조에 사용되는 Glass 세정에 사용되는 장치
세정 용액을 바꾸어 사용가능, casette를 이용하여 쉽게 세정 가능 |
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| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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