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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
급속열처리로
Rapid Thermal Process System
| GBTP No. | GBREMS-12-0212 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2013-06-179886 |
| I-tube등록번호 | 1302-C-0192 |
| 보유기관 | 구미전자정보기술원 |
| 연락처 | 053-589-0726 |
| 대표번호 | 054-479-2002 |
장비정보
| 모델명 | RTA-150H SP1 | 제작사 | 뉴영시스템 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2013-02-15 | 취득금액 | 135,967,030원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열처리장치 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 산동면 첨단기업1로 17 첨단기업 1로 17 구미전자정보기술원 대경권태양광테스트베드센터 F1층 104
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| 장비설명 | 반도체 및 Solarcell 제조 공정시 Metal line 형성 후 급속 열처리를 통해 Metalization을 유지해 줌으로서 미세 Contact Hole에 Metal line을 Uniform하게 만들어 주고 절연저항을 최소화 할 수 있어 전하 전도성을 높여 Metal 효율을 극대화 하는 장비. | ||
| 구성 및 기능 |
- RTA Frame
- Halogen lamp unit - Hot temp. chamber - TPR unit - PC Controller - TPR Unit - AR N2 Gas line unit - L/UL Cylinder unit - Pyrometer unit - Electric Panel unit |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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